概述
DVlA-MLP1000是为赛默飞世尔科技公司扫描电子显微镜（SEM）设计的尖端主动隔振系统，优先考虑用户的舒适性和便利性。与之前的型号不同，DVlA-MLP1000使用侧推安装方法，使其安装更容易、成本更低。其低机身的设计保持了SEM的人体工程学特性，确保了用户的舒适度。该系统采用先进的振动控制算法，可隔离从0.5 Hz开始的振动，并在1 Hz时实现80-90%的隔离。DVA-MLP1000可确保SEM纳米级成像的稳定性和精度，增强功能性和可靠性。
特点
优化SEM平台尺寸
DVIA-MLP1000的尺寸为874 x 846 x158 mm，旨在与赛默飞世尔SEM完美配合。其低机身的设计使显微镜可以直接放置在系统上，从而使整体高度增加最小。这种适应性使其成为空间受限环境中的用户的理想选择，无需修改外壳，同时也为用户保持了显微镜的人体工程学。
完美贴合，确保稳定性
四个主动隔振器是定制设计的，用于牢固地栓接SEM的基架。每个隔离器都有一个顶板，顶板上有两个通孔，与机架底部的脚轮孔相匹配。
脚轮为增强机动性
脚轮可以连接到DVA-MLP1000平台的四个侧面，提供增强的机动性和移动的便利性。这种设计使平台易于在各个方向上操纵，便于在不同安装地点的运输和定位。在所有侧面安装脚轮的能力确保了平台可以在地面上平稳滚动，从而降低了移动它的难度。
低共振频率的气动弹簧
5 Hz以下具有更好的隔离性能
DVlA-MLP系列采用气动弹簧系统，其共振频率低于5 Hz，从而提高了低频下的隔振性能。
世界上最先进的主动隔振系统
DVIA-MLP1000系统包含8个电磁执行器和从0.3 Hz开始就具有出色低频响应的11个高灵敏度检波器传感器。这些组件经过精心设计，可精确测量和抵消振动。这种配置与先进的嵌入式反馈和前馈算法相结合，使系统能够满足2 Hz以下VC-G的严格振动要求。
新的调试软件
DVlA-MLP1000的新调试软件提供了更多的滤波器和增益，增强了对振动的控制。滤波器槽的数量从3个增加到5个，允许精确的主动隔振调试。新的前馈D增益和D频率为10 Hz以下的调试提供了出色的稳定性，可以衰减0.5 Hz以下的振动。调试软件提供0.1 Hz的开环传递函数，能够进行精确的相位裕度检查，以实现卓越的低频振动隔离。
反馈控制
反馈控制系统不断测量隔离质量的振动，并使用电磁制动器产生等幅和反向的力，衰减隔离质量上的振动。虽然隔离系统开箱即用，但通过调整基于隔离质量的增益并使用新的先进陷波滤波器来处理结构共振或振动源，调整反馈回路可以优化隔离性能。
前馈控制
前馈控制通过实时地面传感器测量来检测振动，并向执行器发送信号，从而在地基振动传递到隔离质量之前消除振动。前馈控制大大提高了隔振性能。通过动态控制，前馈系统可以轻松适应设施中不断变化的振动水平，并且不需要不断重新调试来提供出色的性能。
性能
DVlA-MLP1000从0.5 Hz开始隔离振动，在1 Hz时提供80-90%的振动隔离
规格
| 型号 | DVIA-MLP1000 |
| 尺寸 | 874 x 846 x 158 mm |
| 最大负载能力 | 1700 kg |
| 隔振技术 | 反馈和前馈控制 |
| 自由度 | 6 |
| 主动隔离频段 | 0.5–200 Hz |
| 隔振性能 | 80–90% at 1 Hz，90% at 2 Hz |
| 执行器 | 电磁制动器 |
| 最大制动力 | 垂直40N，水平20N |
| 振动传感器 | 检波器，灵敏度：2.55 V/in/s（100.4 V/m/s）±10 % |
| 水准度 | 复位精度：±0.1 mm |
| 控制器 | 外置 |
| 技术安全认证 | CE 和 TUV |
| 电源要求 | 电压：100–260V AC，频率：50–60 Hz |
| 供气要求 | 空气压力：4-6 bar |
| 环境要求 | 温度：5–50°C，湿度：20–90 % |