概述
DVIA-U系列是一种模块化，低轮廓，主动隔振平台，旨在支持各种尺寸和形状的设备。
特点
低频段隔振技术
在给超精密测量设备带来影响的1-10 Hz 低频段，DVIA-U 系列发挥着出众的隔振性能 DVIA-U 系列在0.5Hz 时开始隔离，在10Hz 时提供99％的隔振性能。
模块化 Active 隔振台
可根据设备的重量和形状确定DVIA-U Isolator，制作为各种不同的平台。
No Air
DVIA-U 由金属弹簧组成，能够隔离高频段的振动，无需压缩空气。
Desk Platform 选项(DVIA-UD Series)
装载了DVIA-U Isolator 的DVIA-UD 桌面型隔振台设计为方便客户坐着使用设备的形态，可根据客户的各种要求进行设计及制作。
为实现最佳性能而进行现场调试
各个安装现场的振动环境不同，因此为了配合现场情况需要进行调试。为使反馈(Feedback) 及前馈(Feed-forward) 控制系统发
挥最佳性能，我们提供现场调试服务。
性能
规格
应用
- · 扫描电子显微镜(SEM)
- · 透射电镜(TEM)
- · 扫描隧道显微镜(STM)
- · 扫描探针显微镜(SPM)
- · 核磁共振波谱仪(NMR)
- · 超精密测量工具超精密测量仪器