概述
DVlA-ML系列是DVlA-MB系列的升级版本，采用了尖端的主动振动控制算法，在低频下实现了卓越的隔振性能。此外，DVIA-ML系列具有较低的平台高度，为空间受限环境中的高大电子显微镜提供了更大的间隙。凭借其复杂的反馈和前馈控制算法，以及一流的组件，DVlA-ML系列在各个方面都优于市场上其它可用的主动隔振系统。
特点
惊人的隔振性能，
在 1 Hz 下提供 80 – 90% 的隔振
DVIA-ML 嵌入了复杂的振动控制算法，可启动 0.5 Hz 以上的振动隔离，
在 1 Hz 时提供 80 – 90% 的振动隔离。
机身高度低，提高稳定性，增加空间
并定制设计以满足您的需求
DVIA-ML1000 平台的高度仅为 173 mm，这为高大电子显微镜提供了更多空间，并使
系统在重心降低时更加稳定。
DVIA-ML 是根据电子显微镜的规格设计的。
我们可以修改平台的形状、尺寸和颜色以满足客户的要求。
优化系统设计，提高性能
电磁致动器
电磁致动器位于 DVIA-ML 平台的
四个角落，可有效产生力来控制振动。
11 个地震检波器传感器
高灵敏度的地震检波器传感器安装在平台的底板和顶板上，可精确测量振动，具有从 0.3 Hz 开始的出色低频响应。
气动弹簧
气动弹簧可根据有效载荷的质量
进行高度调节，并提供低固有频率，从而提高
10 Hz 以下的主动隔振性能。
全新的反馈控制
可实现开环调谐的优化
反馈控制系统不断测量隔离的质量振动，并利用电磁致动器产生相等且相反的力来衰减隔离质量上的振动。尽管隔振系统开箱即用，但调整反馈开环可以根据隔离质量调整增益，并使用新的和先进的陷波滤波器来考虑结构谐振或振动源，从而优化隔振性能。
先进的前馈控制
可显著提高低频
隔振性能
前馈控制使用实时地面传感器测量来检测振动，并向执行器发送信号以在地板振动传递到隔离质量之前消除地板振动。DVIA-ML 前馈控制显著提高了隔振性能。通过动态控制，前馈控制可以轻松适应设施中不断变化的振动水平，并且不需要不断重新调整即可提供出色的性能。
新的 PID 调谐软件，
更多的 PID 增益，用于稳定性和性能的过滤器
DVIA-ML1000 的新调谐软件提供了更多的滤波器和增益，可以更有效地控制振动。
过滤器槽的数量从 3 个增加到 5 个，这使我们能够精细而准确地调整主动隔振系统。
新的前馈 D 增益和 D 频率 （Hz） 为将有源系统调谐到低于 10 Hz 提供了出色的稳定性。特别是，
我们能够通过新的前馈 D 增益控制将振动衰减到 0.5 Hz 以下，以实现出色的隔
振性能。新的调谐软件提供 0.1 Hz 的开环传递函数，使我们能够准确地检查
相位裕量，从而稳定地调整增益值，以获得卓越的低频隔振性能。
六重自由度的主动隔振
DVIA-ML 控制三个平移运动度
（X、Y 和 Z）和三个旋转运动度（俯仰、滚动和偏航）的振动。
性能
DVIA-ML系列从0.5 Hz开始隔离振动，在1 Hz时提供80-90%的振动隔离
规格
| 型号 | DVIA-ML1000 | DVIA-ML3000 |
| 尺寸 | 可定制（固定高度：173 mm） | 可定制（固定高度：178 mm） |
| 最大负载能力 | 1700 kg | 3500 kg |
| 隔振技术 | 反馈和前馈控制 | |
| 自由度 | 6 | |
| 主动隔离频段 | 0.5–200 Hz | |
| 隔振性能 | 80–90% at 1 Hz，90% at 2 Hz | |
| 执行器 | 电磁制动器 | |
| 最大制动力 | 垂直40N，水平20N | |
| 振动传感器 | 检波器，灵敏度：2.55 V/in/s（100.4 V/m/s）±10 % | |
| 水准度 | 复位精度：±0.1 mm | |
| 控制器 | 内置 | |
| 技术安全认证 | CE 和 TUV | |
| 电源要求 | 电压：100–260V AC，频率：50–60 Hz | |
| 供气要求 | 空气压力：4-6 bar | |
| 环境要求 | 温度：5–50°C，湿度：20–90 % | |