主动式减振台之核心性能——传递曲线
主动式减振台的核心性能参数是传递曲线(Transmissibility Curve),传递曲线反映了减振台把地面振动衰减的倍数。要理解传递曲线,首先要学会阅读振动量测数据。一、振动数据的阅读
一个典型的振动量测数据包括3个要素:方向、频率和振幅。地面微振动是指地面在空间某方向的往复运动,为了方便研究,我们把振幅按照矢量分解法投影到空间的X、Y、Z三个坐标轴上,在量测时分别把传感器按照X、Y、Z三个方向摆放并抓取数据,这样就得到了3张振动数据图。
地面的往复运动有快有慢,即频率有高有低,不同频率对仪器的影响不同,因此我们把振动数据图的横轴设定为频率,如下图。通常对于电镜来说,我们主要研究1-100Hz的振动。
二、传递曲线
用两个传感器分别放在减振台上和地面上同时测量,就可以得到在同一个坐标系里减振台上和地面上的振动数据,如下图。它可以直观的反映减振台安装后,地面微振动从什么振幅水平降低到了什么振幅水平。在任一方向的任一频率,都可以准确的读出地面振幅数值和减振台上的振幅数值。