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电镜和振动频率之间的关系
浏览: 发布日期:2022-03-24

        扫描和透射电镜,在出厂时通常标配了被动式减振器,如下图红色方框标记的部件。有的电镜厂家用空气弹簧,有的电镜厂家用金属弹簧,它们都属于被动式减振器。

         被动式减振器的性能特点是它可以有效隔离10Hz以上的高频振动,但它在低频却是共振的。下图黑色的传递率曲线即是被动式空气弹簧的减振性能,从图中可以看到,它在10Hz以上的减振效果超过90%,但在3Hz共振。因此电镜会遇到的场地振动问题都是1-10Hz的低频振动。

         这从各个电镜厂家对振动的要求也可以看出来,比如Zeiss某型号场发射扫描电镜对振动的要求如下,通过观察可以发现,10Hz以下的低频区域要求的振幅值最低,10Hz以后振幅要求逐步放宽。

        Thermofisher某型号透射电镜对振动的要求如下,通过观察可以发现,10Hz以前的振动要求比10Hz以后明显严格。

        日立电镜则干脆对10Hz以上的振动不做要求,参考如下:

 

 

         还有其它各电镜厂家的振动要求都有这样的规律,即电镜对10Hz以下的振动要求最严格,而对10Hz以上的振动要求较为宽松。所以当电镜配置主动式减振台的时候,主要就是看10Hz以下的减振性能,10Hz以上仅作参考就可以了。
         认识了电镜的这个特点后,我们就可以比较容易的分辨出目前电镜行业内主动式减振器的优劣。比如下面这样的减振效果就是非常优异的减振性能。

        而如果减振器在装机以后得到下面这样的减振效果,则说明此减振器在1-10Hz完全没有效果,减振器在电镜的下面形同虚设。以下数据都取自国内的真实电镜装机数据,目前国内电镜行业的主动式减振台供应商技术水平参差不齐,有些可以说完全没有用,在此提醒用户谨慎选择。尤其是不要看到几张装机照片就认为可以相信,出示装机照片给用户看是减振台无良商家最常用的宣传和说服方式。


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